(1) Pre-kamber di vakuo
E funshon di e kamber di pre-vakuo ta pa garantisá ku e kamber di grabashon ta keda mantené na un nivel di vakuo fihá, no ta wòrdu afektá pa e ambiente eksterno (manera stòf, vapor di awa), i ta isolá gasnan peligroso for di e kamber limpi. E ta konsistí di un tapa, un manipuladó, un mekanismo di transmishon, un porta di isolashon, etc.
(2) Kamber di grabashon
E kamber di grabashon ta e struktura sentral di e ekipo di grabashon ICP. E tin un impakto direkto riba e tasa di grabashon, e vertikalidat di e grabashon, i e rudesa. E komponentenan prinsipal di e kamber di grabashon ta: elektroda superior, unidat di frekuensha di radio ICP, unidat di frekuensha di radio RF, sistema di elektroda abou, sistema di kontrol di temperatura, etc.
(3) Sistema di suministro di gas
E sistema di suministro di gas ta pa entregá vários gas di grabashon na e kamber di grabashon, i kontrolá ku eksaktitut e fluho di gas i fluho dor di e kontroladó di preshon (PC) i e kontroladó di fluho di masa (MFC). E sistema di suministro di gas ta konsistí di un bòter di fuente di gas, un pipa di entrega di gas, un sistema di kòntròl, un unidat di meskla, etc.
(4) Sistema di vakuo
Tin dos sistema di vakuum, un pa e kamber di pre-vakuum i e otro pa e kamber di grabashon. E kamber di pre-vakuo ta wòrdu evakuá dor di un pòmp mekaniko. Solamente ora e nivel di vakuo den e kamber di vakuo pre- yega na e balor stipulá por habri e porta di isolashon pa transferí e wafer.